離子注入機實現全譜係產品國產化 國產芯片產業迎來好消息！
2025-07-05 00:14:27栏目：评测
據媒體消息，3月17日，中國電子科技集團有限公司對外公布，該集團旗下裝備子集團攻克係列“卡脖子”技術，已成功實現離子注入機全譜係產品國產化，包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，為我國芯片製造產業鏈補上重要一環，為全球芯片製造企業提供離子注入機一站式解決方案。
離子注入機實現全譜係產品國產化
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